TSF600 高精密撓性線路系列干膜光阻劑是一種具備高解析度、高附著力的全水溶性干膜光阻劑,專用于高精密撓性線路板。具有優(yōu)良的密著性、解像度,可有效地提高高密度線路板形成時的良品率。
特色及優(yōu)點
高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距
優(yōu)質(zhì)的貼合度-高良率
高附著力-高良率
特有的感光速度 -60-80 mj/cm2能量可達7級曝光尺(21級)
優(yōu)越的剝膜性能和快的褪膜速度
項目
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單位
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TSF608
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備注
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厚度
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μm
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20
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感度*1
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mj/cm2
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65
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最短顯影時間
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sec.
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11
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附著力*1*2(L/S=X/250)
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μm
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18
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解析度*1*2(L/S=X/X)
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μm
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18
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*1:TSF608(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數(shù)的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11)
*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2
*3:20μm 線路和SEM圖像。