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MP500 選化沉金系列干膜光阻劑特別針對高解析度線路,具有優(yōu)秀的耐堿性蝕刻性能。MP515和MP520可幾乎應用于所有電鍍工藝,包括鍍金。
特色及優(yōu)點
極好的耐堿性蝕刻性能
高解析度
較好地應用于圖形電鍍較好地應用于直接電鍍
用于沉金電鍍工藝過程
蓋孔能力優(yōu)異
鍍金性能可達100μin
項目 |
單位 |
MP515 |
MP520 |
備注 |
厚度 |
μm |
40 |
50 |
|
感度*1 |
mj/cm2 |
70 |
90 |
|
最短顯影時間 |
sec. |
45 |
55 |
|
附著力*1*2(L/S=X/250) |
μm |
40 |
50 |
|
解析度*1*2(L/S=X/X) |
μm |
30 |
40 |
|
蓋孔孔徑 |
μm |
6.0 |
7.0 |
|
*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2
*3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。