MA300 圖形電鍍系列干膜光阻劑是一種具備自動檢測能力、高效率、全水溶性的干膜光阻劑,可使用于內(nèi)層和外層的應用。本產(chǎn)品在酸性蝕刻、蓋孔與蝕刻和酸性電鍍制程中均有突出表現(xiàn)。
特色及優(yōu)點
高分辨率 -1-2 mil 線寬/線距
優(yōu)質(zhì)的貼合度-高良率
高附著力-高良率
優(yōu)質(zhì)的圖像顯示對比,具備自動光學檢測能力
特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2
項目
|
單位
|
MA312
|
MA315
|
備注
|
厚度
|
μm
|
30
|
38
|
|
感度*1
|
mj/cm2
|
25
|
30
|
|
最短顯影時間
|
sec.
|
20
|
25
|
|
附著力*1*2(L/S=X/250)
|
μm
|
25
|
30
|
|
解析度*1*2(L/S=X/X)
|
μm
|
25
|
30
|
|
蓋孔孔徑
|
μm
|
//
|
6.5
|
|
*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推薦硬化格數(shù)的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光機制作(UVE-HSP5K-11)
*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短顯影時間x2
*3:分辨率、解析度以及顯影后圖像。